JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数
作者:标准资料网 时间:2024-05-08 20:32:55 浏览:8266
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基本信息
| 标准名称： | 溅射离子泵 型式与基本参数 |
| 中标分类： | 机械 >> 通用机械与设备 >> 真空技术与设备 |
| 替代情况： | JB 4081-85;被JB/T 4081-2011代替 |
| 发布部门： | 国家机械工业局 |
| 发布日期： | 1991-07-22 |
| 实施日期： | 1992-07-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 2012-04-01 |
| 提出单位： | 全国真空技术标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国真空技术标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 机械电子工业部沈阳真空技术研究所 |
| 起草人： | 冯玉国 |
| 出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版日期： | 1992-07-01 |
| 页数： | 2 页 |
| 批文号： | 机电科标[1991]1121号 |
适用范围
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 机械 通用机械与设备 真空技术与设备
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